공지사항
내용
당사는
꾸준히 앞서가는 기술력으로 FOUP
Cleaner 시장을
리더해가는 업체로 더욱 노력을 하겠습니다
Process Application
· 500~600 mm FOUP Cleaning
· All FOUP applications
· NFC600(Normal)
System Performance
· Separate cleaning of FOUP Body and FOUP
· Spin RPM: Body 0~10 RPM, Cover 0~400 RPM
· 3(Body) x 3(Cover) Cleaning Chambers
· Nozzle: High pressure spray
· Hot DI Cleaning & Hot CDA Drying
· N₂ Purge & Close system
· UPEH: 9 FOUPs/hour
The Merits
· Small Footprint (the smallest area in the world)
· High throughput, N₂ Purge & Close system
Robot
· 6-Axis Multi-joint Robot
· Auto Tilting, High Power, Fast Speed
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