회사연혁

2024

• 03제51회 상공의날 국무총리 표창 수상
• 01SK하이닉스 HBM FOUP Cleaner NFC400 장비 납품

2023

• 12PECVD System SK하이닉스 DEMO 납품
• 122023년 우수벤처기업 중소벤처기업부 장관상 수상
• 122023년 경기도 유망중소기업 인증
• 12SK하이닉스 웨이퍼 검사 장비 공급
• 11중국 청두 PLP 제조업체 EFEM 장비 공급
• 11싱가포르 PLP 제조업체 FOUP Cleaner 공급
• 09제주 충전소 / 안산 충전소 EPC 수주
• 09SK Hynix TSV공정용 FOUP Cleaner 수주
• 08LEVIDIAN사와 청록수소, 그래핀 생산 LOOP 시스템 공동개발 협약 체결
• 08혁신R&D브릿지 연구과제(PECVD) 선정
• 08FOUP Cleaner, 중국 XIAN XINSEMI 반도체 회사 공급
• 07SK하이닉스 7기 기술혁신기업 선정
• 04수소전문기업 인증
• 03SK Hynix Valve 수리 BP사 등록
• 01PKG SiCN PECVD 양산성능평가 (국책) 선정
• 01SK하이닉스 양산 FOUP Cleaner 장비 공급

2022

• 12삼성전자 FOUP Cleaner 1호기 납품
• 12ISO 45001 인증 등록
• 12H와 PECVD 공동개발계약 체결
• 11울산 언양 수소충전소 EPC 수주
• 10벤처기업 인증
• 09COBETTER 브랜드 제품(Filter, Membrane) 대리점 계약 체결
• 08페플라스틱 열분해를 이용한 수소생산기술 개발 국책과제 선정
• 08SOITEC(프) FOUP Cleaner 수주
• 08부산 버스용 수소충전소 EPC 단독 수주
• 07전주 수소충전소 EPC 단독 수주
• 06수소충전분야 공동 업무 협약 체결
• 04대전 학하 수소충전소 EPC 수주

2021

• 12무역의 날 ‘천만불 수출의 탑’ 수상
• 12수소연료전지용 개질기 부품 수주
• 12인천화물차 수소충전소 EPC 수주
• 10HB Solution Glove Box 6종 수주
• 10수전해 후단 공정 개발 (특허출원)
• 07원익 2G ICP PECVD SINGLE LL
• 07한국자동차연구원 수전해설비 EPC 수주
• 06PECVD System 개발(국책) 선정
• 05SDC A2 Laser VTS (1TM + 3LL)
• 05수전해 시스템 구축
• 04목포 수소충전소 EPC 수주
• 04이노비즈(기술혁신형 중소기업) 인증
• 04CHJS(중) FOUP Cleaner 수주
• 04NEPES LAWEH FOUP Cleaner 수주
• 04SK hynix & siltron F/C, Sorter 수주
• 03수소충전소 건설 (목포 1호 수소충전소)
• 03Key-Foundrty Sorter 수주
• 01PECVD System 개발(국책) 참여
• 01흐름전지 개발(국책) 참여

2020

• 10SDC VTS Chamber Line 수주
• 10새로운 Vacuum FOUP Cleaner 개발완료 (VFC310)PECVD 개발 완료
• 07N2 Chamber 수주 (2개사)
• 06SKH S.IC RF Shelf 수주
• 06수소에너지(ESS, Reformer, EPC) 개발 완료
• 03SOITEC FOUP Cleaner 수주
• 03SK hynix & siltron F/C, Sorter 수주
• 03수소충전소 시스템 설계
• 03이천 valve/parts 사업부 설립
• 01연료전지용 개질기 설계 및 생산

2019

• 12소재부품장비 전문기업 인증
• 12BOE Mask SHOP 수주
• 11SK솔믹스 Sorter 업체등록
• 10PECVD 개발완료
• 052차전지 (VRFB) 연구개발
• 05SK Foup Cleaner 수주
• 04SK Siltron Sorter 수주

2018

• 10PECVD 개발
• 04한화 load Lock Champer 수주
• 02SK Hynix Foup Cleaner 수주
• 01BOE B11 Load Chamber 수주
• 01hefei Sinveva 200x200 OLED 진공챔버 수주

2017

• 11BOE GVO 진공물류 수주
• 11BOE B5 Mask Stocker 수주
• 09신축 클린룸 완공
• 08BOE B7 2차, 3차분 Glove Box 수주
• 08BOE B5 Mask Stocker 수주
• 05BOE B7 O-Azing수주
• 05삼성 A3, A4 TM 외 진공물류 수주
• 04신축 2공장(준클린룸) 완공
• 02SK Hynix Foup Cleaner 수주

2016

• 12SK Hymix Foup Cleaner 수주
• 11SK Hymix Foup Cleaner 수주
• 10삼성전기 Cleaner 개발 및 수주
• 10SK Hymix Foup Cleaner 수주
• 08BOE B3 TM 외 진공물류 수주
• 05SK Hymix Foup Cleaner 수주
• 01SK Hymix Foup Cleaner 수주

2015

• 11OLED Source Test 증착 장비 수주
• 10자본증자
• 07OLED 증착장비 개발
• 03LED Drive IC 연구개발
• 02Innobiz 인증 등록
• 02중국법인 설립(우시, Pump Overhaul)
• 01자동차 HPCU Line 수주 및 제작
• 01ISO9001, 14001 인증등록

2014

• 12탄소나노 튜브 Coating 개발
• 11In-situ FOUP Cleaner 개발
• 09불활성 Gas Supply 개발
• 09Feeder 수주 및 제조 for OLED
• 07기업 부설연구소 설립
• 05자동차 ECU Line 수주 및 Keeping
• 03OLED RTAF 개발(중기청 창업성장 과제 선정)
• 01RTAF 장비개발 for Solarcell

2013

• 11Backbone 및 Chamber 조립 for LCD
• 10Vacuum FOUP Cleaner 개발
• 10Feeder 수주 및 제조 for OLED
• 10중소기업 우수벤처 기업 등록
• 09(주)아이에스티이 법인설립