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Wafer Transfer
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Sorter
Sorter는 고청정이 요구되는 공정중에 있는 Wafer를 불순물 발생을 억제 및 Wafer 손상을 방지하면서도 최대한 깨끗하고 신속하게 이송하는 핵심 기능을 수행
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