회사연혁
- 2021
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- 10HB Solution Glove Box 6종 수주
- 10수전해 후단 공정 개발 (특허출원)
- 07원익 2G ICP PECVD SINGLE LL
- 05SDC A2 Laser VTS (1TM + 3LL)
- 05수전해 시스템 구축
- 04SK hynix & siltron F/C, Sorter 수주
- 03수소충전소 건설 (목포 1호 수소충전소)
- 2020
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- 10SDC VTS Chamber Line 수주
- 10새로운 Vacuum FOUP Cleaner 개발완료 (VFC310)PECVD 개발 완료
- 07N2 Chamber 수주 (2개사)
- 06SKH S.IC RF Shelf 수주
- 06수소에너지(ESS, Reformer, EPC) 개발 완료
- 03SOITEC FOUP Cleaner 수주
- 03SK hynix & siltron F/C, Sorter 수주
- 03수소충전소 시스템 설계
- 03이천 valve/parts 사업부 설립
- 01연료전지용 개질기 설계 및 생산
- 2019
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- 12BOE Mask SHOP 수주
- 11SK솔믹스 Sorter 업체등록
- 10PECVD 개발완료
- 052차전지 (VRFB) 연구개발
- 05SK Foup Cleaner 수주
- 04SK Siltron Sorter 수주
- 2018
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- 10PECVD 개발
- 04한화 load Lock Champer 수주
- 02SK Hynix Foup Cleaner 수주
- 01BOE B11 Load Chamber 수주
- 01hefei Sinveva 200x200 OLED 진공챔버 수주
- 2017
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- 11BOE GVO 진공물류 수주
- 11BOE B5 Mask Stocker 수주
- 09신축 클린룸 완공
- 08BOE B7 2차, 3차분 Glove Box 수주
- 08BOE B5 Mask Stocker 수주
- 05BOE B7 O-Azing수주
- 05삼성 A3, A4 TM 외 진공물류 수주
- 04신축 2공장(준클린룸) 완공
- 02SK Hynix Foup Cleaner 수주
- 2016
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- 12SK Hymix Foup Cleaner 수주
- 11SK Hymix Foup Cleaner 수주
- 10삼성전기 Cleaner 개발 및 수주
- 10SK Hymix Foup Cleaner 수주
- 08BOE B3 TM 외 진공물류 수주
- 05SK Hymix Foup Cleaner 수주
- 01SK Hymix Foup Cleaner 수주
- 2015
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- 11OLED Source Test 증착 장비 수주
- 10자본증자
- 07OLED 증착장비 개발
- 03LED Drive IC 연구개발
- 02Innobiz 인증 등록
- 02중국법인 설립(우시, Pump Overhaul)
- 01자동차 HPCU Line 수주 및 제작
- 01ISO9001, 14001 인증등록
- 2014
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- 12탄소나노 튜브 Coating 개발
- 11In-situ FOUP Cleaner 개발
- 09불활성 Gas Supply 개발
- 09Feeder 수주 및 제조 for OLED
- 07기업 부설연구소 설립
- 05자동차 ECU Line 수주 및 Keeping
- 03OLED RTAF 개발(중기청 창업성장 과제 선정)
- 01RTAF 장비개발 for Solarcell
- 2013
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- 11Backbone 및 Chamber 조립 for LCD
- 10Vacuum FOUP Cleaner 개발
- 10Feeder 수주 및 제조 for OLED
- 10중소기업 우수벤처 기업 등록
- 09(주)아이에스티이 법인설립
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